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发明名称 FLAW MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07301607(A) 申请公布日期 1995.11.14
申请号 JP19940094684 申请日期 1994.05.09
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 HARADA YOSHIYUKI
分类号 G01N21/84;G01N21/88;G01N21/954;G02B6/00;(IPC1-7):G01N21/84 主分类号 G01N21/84
代理机构 代理人
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