| 发明名称 |
GAS-SOURCE MOLECULAR BEAM EPITAXY APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07300391(A) |
申请公布日期 |
1995.11.14 |
| 申请号 |
JP19940096650 |
申请日期 |
1994.05.10 |
| 申请人 |
DAIDO HOXAN INC |
发明人 |
SENBOKUTANI HARUO;OMORI NOBUNORI;OKU HIDEHIKO |
| 分类号 |
C30B25/02;C30B23/08;C30B25/12;(IPC1-7):C30B25/02 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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