发明名称 PRODUCTION OF OPAQUE QUARTZ GLASS MEMBER WITH TRANSPARENT QUARTZ GLASS LAYER
摘要
申请公布号 JPH07300327(A) 申请公布日期 1995.11.14
申请号 JP19940111849 申请日期 1994.04.28
申请人 SHINETSU QUARTZ PROD CO LTD;YAMAGATA SHINETSU SEKIEI:KK 发明人 SATO TATSUHIRO;FUJINOKI AKIRA;YOKOTA TORU;OGOSHI SHINICHI
分类号 C03B20/00;C03B19/01;C03C11/00;C03C17/02;H01L21/205;(IPC1-7):C03B20/00 主分类号 C03B20/00
代理机构 代理人
主权项
地址