发明名称 PRODUCTION OF THIN COPPER OXIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH07300681(A) 申请公布日期 1995.11.14
申请号 JP19940092388 申请日期 1994.04.28
申请人 KYOCERA CORP 发明人 KATO MASAFUMI;OKAMURA TAKESHI
分类号 C01G3/00;C04B41/50;C07F1/08;C23C18/12;(IPC1-7):C23C18/12 主分类号 C01G3/00
代理机构 代理人
主权项
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