| 发明名称 |
WORK WASHING METHOD AND WASHING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07299427(A) |
申请公布日期 |
1995.11.14 |
| 申请号 |
JP19950050176 |
申请日期 |
1995.03.09 |
| 申请人 |
SEIKO EPSON CORP |
发明人 |
OKAMURA KAZUHIKO;MIYAGAWA TAKUYA |
| 分类号 |
G02F1/13;B08B3/10;H01L21/304;H01L21/677;H01L21/68;H05K3/26;(IPC1-7):B08B3/10 |
主分类号 |
G02F1/13 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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