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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH07301665(A)
申请公布日期
1995.11.14
申请号
JP19950005452
申请日期
1995.01.18
申请人
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP
发明人
HORIGUCHI SHINJI;HORI RYOICHI;ITO KIYOO;NAKAGOME YOSHINOBU;AOKI MASAKAZU;TANAKA HITOSHI
分类号
G01R31/28;G11C11/401;G11C11/407;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/28
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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