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发明名称
摘要
申请公布号
JPH07105417(B2)
申请公布日期
1995.11.13
申请号
JP19870321059
申请日期
1987.12.18
申请人
发明人
分类号
G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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