形成等电游离气之装置

摘要

本发明系有关一种形成等电游离气以辅助诸如钻石之类的陶瓷材料制造之方法。此法包括提供一个钟形罩，及注入一种选择气体至钟形罩之步骤。该气体可包括一种像氢之类的活性气体，以及一种气态碳化合物。使用一阵列的透镜或镜子，将从远端源产生之一束微波辐射集中至反应室内之聚焦区，使在该区形成一个等电游离气。而该等电游离气之形成将视聚焦阵列装置之几何形状及位置而定，与反应室的内部轮廓无关。将一个基片放置于反应室中，在等电游离气与基片产生作用之后，会使等电游离气中被激发之碳成份化学蒸汽沈淀在基片中。本发明亦包括使用于本法中之装置。

主权项

1. 一种形成等电游离气之装置,该装置包含一个反应室(28);设置于该反应室外而供把来自一远方来源(10)之一束微波辐射(16)聚集于该反应室内的一个聚焦区(26)的聚焦装置(18,22;34;36;38;40;42);将一种气态碳化合物及一种选自包含供在该聚焦区(26)形成等电游离气(32)之氢及氧之族群中的活性气体的混合物引入的装置(78;80;82);用以支撑一个基片(30)的一个支撑体(x),该支撑体系设置于该反应室内,该支撑体与该聚焦装置系可彼此相对地被调整,而该等电游离气之形成系与该反应室之形状无关而与该聚焦装置之几何形状及位置有关,且该等电游离气系被配置成会使钻石之化学蒸汽沈积作用在该基片上发生。2. 依据申请专利范围第1项所述之装置,其中该远方来源包括至少两个微波产生器(10,54),被配置来产生具不同频率而用以激励该等电游离气内之不同成份的微波。图示简单说明:第1图显示本发明的一个形成等电游离气装置之第一种实施例之简图;第2图至第5图显示本发明形成等电游离气装置之其它实施例之简图;第6图及第7图显示产生一种适当之等电游离气之实验装置