| 发明名称 |
INSULATING FILM FORMING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07296721(A) |
申请公布日期 |
1995.11.10 |
| 申请号 |
JP19940091055 |
申请日期 |
1994.04.28 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NARISAWA TOSHIAKI;ARATO TOSHIAKI;KOGANEZAWA NOBUYUKI;SHIBATA MICHIHIDE |
| 分类号 |
H01J9/08;H01J1/22;(IPC1-7):H01J9/08 |
主分类号 |
H01J9/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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