| 发明名称 |
OXIDE DIELECTRIC THIN FILM AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07294861(A) |
申请公布日期 |
1995.11.10 |
| 申请号 |
JP19940082953 |
申请日期 |
1994.04.21 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
IMAI TAKAHIRO;TANAKA MOTOYUKI;FUJIMORI NAOHARU |
| 分类号 |
G02F1/035;(IPC1-7):G02F1/035 |
主分类号 |
G02F1/035 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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