| 发明名称 |
ANALYTICAL ELECTRON MICROSCOPE, AND ANALYZING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07296760(A) |
申请公布日期 |
1995.11.10 |
| 申请号 |
JP19940082837 |
申请日期 |
1994.04.21 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKAGUCHI MASANARI;KAKIBAYASHI HIROSHI;MURAKOSHI HISAYA;OCHIAI ISAO;NISHIDA AKIO;SUGA MITSUO;TARUYA YOSHINOBU;NINOMIYA TAKESHI;ISAGOZAWA SHIGETO;MITSUI YASUHIRO;MIYAO MASANOBU |
| 分类号 |
H01J37/244;H01J37/252;H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/244 |
主分类号 |
H01J37/244 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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