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发明名称 HOLDING DEVICE OF BOARD
摘要
申请公布号 JPH07297255(A) 申请公布日期 1995.11.10
申请号 JP19940088780 申请日期 1994.04.26
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 KAMIYAMA TSUTOMU
分类号 B25J9/06;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B25J9/06
代理机构 代理人
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