发明名称 METHOD OF FLATTENING INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH07297193(A) 申请公布日期 1995.11.10
申请号 JP19940091906 申请日期 1994.04.28
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 INOKAWA HIROSHI
分类号 B24B1/00;H01L21/304;H01L21/3205;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
主权项
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