主阀

摘要

本创作之目的为使主阀之停止位置停止于无阶段之任意位置上；即使没有可变孔口也能提供可进行微细压力调整之桥接型主阀。本创作之构成为对于设在真空室4及主排气泵接连排气口5上的主阀而言，在开闭接连排气口5用之阀体2，使驱动方向及阀体2之开闭面2a成直角连接由步进马达11所驱动之电动圆筒10a之支杆17。支杆17上设有活塞18，而活塞18上嵌装着圆筒容器19，利用活塞18及圆筒容器19使阀体2朝闭锁方向(如箭头所示25)移动之加压空气排给室23。而构成支杆17。电动圆筒10a需具备滚珠螺旋杆12、螺帽13及连接在螺帽13上之支杆17。

主权项

1. 一种主阀,为设置于真空室及主排气泵连接开口 部之 主阀,其特征为,具有:比开闭其开口部用之开口部 还大 之阀体;与阀体连接分别对向之2个电动圆筒;及驱 动各 个电动圆筒之驱动源。2. 如申请专利范围第1项之 主阀,其中在电动圆筒之圆筒 容器及活塞所形成之室内,阀体为朝关闭开口部之 方向移 动而设置了注入加压流体用的注入口。3. 如申请 专利范围第1项或第2项之主阀,其中电动圆筒 具有在圆筒容器内和驱动源相连结之滚珠螺旋杆; 及与其 滚珠螺旋杆相结合之螺帽;及与其螺帽相接合之活 塞;及 其活塞在前端形成之支杆;在此,支杆贯穿风箱并 和阀体 相连接。4. 一种主阀,为设置于真空室及主排气泵 之连接开口部 之主阀,其特征为,具有:比开闭其开口部用之开口 部还 大之阀体,在此,阀体之一端在真空室之壁面与阀 体为可 旋转下相连接,再者,具有受驱动源驱动之一个电 动圆筒 ,在此,其电动圆筒具有:在圆筒容器内与驱动源相 连结 之滚珠螺旋杆;及与其滚珠螺旋杆相结合之螺帽; 及阻止 其螺帽旋转之止子;及与其螺帽相接合之活塞;及 其活塞 形成于前端之支杆,在此,在圆筒容器及活塞所形 成之室 内,阀体为了朝关闭开口部之方向移动而设有注入 加压流 体用的注入口;再者,在阀体之另一端连接了贯穿 风箱之 支杆。图示简单说明: 图1是具有先前之可变孔口之桥接型主阀的构成图 。 图2是具有先前之阶段性停止机构之桥接型主阀的 构成图 。 图3是该创作之较佳实施例的构成图。 图4是该创作之较佳实施例之电动圆筒的详细剖视 图。