| 发明名称 |
SILICON MONOLITHIC SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07294295(A) |
申请公布日期 |
1995.11.10 |
| 申请号 |
JP19940084928 |
申请日期 |
1994.04.22 |
| 申请人 |
RES DEV CORP OF JAPAN;MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD |
发明人 |
SUGIURA YOSHIYUKI;YAMAGUCHI SHUICHIRO;MIYAJIMA HISAKAZU |
| 分类号 |
G01D21/00;G01H11/08;G01L1/18;G01P21/00;H01L21/337;H01L29/808;H01L29/84;(IPC1-7):G01D21/00 |
主分类号 |
G01D21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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