发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH07297366(A) 申请公布日期 1995.11.10
申请号 JP19940082909 申请日期 1994.04.21
申请人 NEC CORP 发明人 YOSHIMORI MASANORI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/06;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/823 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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