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发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH07297244(A) 申请公布日期 1995.11.10
申请号 JP19940091367 申请日期 1994.04.28
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 NAKAMURA HIROYUKI
分类号 G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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