发明名称 PLASMA CVD
摘要
申请公布号 JPH07297139(A) 申请公布日期 1995.11.10
申请号 JP19940086085 申请日期 1994.04.25
申请人 SONY CORP 发明人 KADOMURA SHINGO
分类号 H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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