| 发明名称 |
ION IMPLANTING METHOD, AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07296763(A) |
申请公布日期 |
1995.11.10 |
| 申请号 |
JP19940189085 |
申请日期 |
1994.04.27 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
YUASA SATOSHI;HAYASHI YOSHIFUMI |
| 分类号 |
H01J37/317;H01J37/09;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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