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发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING SURFACE ACCURACY OF PLANAR BODY
摘要
申请公布号
JPH07294246(A)
申请公布日期
1995.11.10
申请号
JP19940110559
申请日期
1994.04.26
申请人
SUMITOMO RUBBER IND LTD
发明人
YAMADA SEIJU
分类号
G01B11/30;G01B21/30;(IPC1-7):G01B21/30
主分类号
G01B11/30
代理机构
代理人
主权项
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