| 发明名称 |
PATTERN FORMATION, PROJECTION ALIGNER, OPTICAL SYSTEM AND DESIGN THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07297103(A) |
申请公布日期 |
1995.11.10 |
| 申请号 |
JP19940084901 |
申请日期 |
1994.04.22 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
FUKUDA HIROSHI;TERASAWA TSUNEO;ITO MASAAKI;KATAGIRI SOUICHI |
| 分类号 |
G03F7/20;G03B27/32;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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