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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07297283(A) 申请公布日期 1995.11.10
申请号 JP19940225693 申请日期 1994.08.26
申请人 RICOH CO LTD 发明人 ABE HIROYUKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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