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发明名称 FLATTENING METHOD IN MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07297191(A) 申请公布日期 1995.11.10
申请号 JP19940089465 申请日期 1994.04.27
申请人 SONY CORP 发明人 TATESHIMO YASUSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/469;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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