| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR PLASMA TREATMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07297176(A) |
申请公布日期 |
1995.11.10 |
| 申请号 |
JP19940109016 |
申请日期 |
1994.04.25 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD;SATO NORIYOSHI |
发明人 |
ISHIDA TAKESHIGE;SATO NORIYOSHI;IIZUKA SATORU |
| 分类号 |
H05H1/46;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01P5/103;H01Q13/10;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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