发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH07297415(A) 申请公布日期 1995.11.10
申请号 JP19940086137 申请日期 1994.04.25
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OSAWA AKIHIKO;BABA YOSHIAKI;TSUCHIYA MASANOBU
分类号 H01L29/861;H01L21/322;(IPC1-7):H01L29/861 主分类号 H01L29/861
代理机构 代理人
主权项
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