| 发明名称 |
FAULT DETECTION EQUIPMENT FOR PROTECTED CONSTITUTIONAL ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07297374(A) |
申请公布日期 |
1995.11.10 |
| 申请号 |
JP19950109181 |
申请日期 |
1995.04.11 |
| 申请人 |
SGS THOMSON MICROELECTRON SA |
发明人 |
ROBEERU PEZAANI |
| 分类号 |
H01L21/66;G01R31/26;H01L21/822;H01L27/02;H01L27/04;H01L29/74;H01L29/861;H01L29/87;(IPC1-7):H01L27/04 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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