摘要 |
<p>Verkapselung für OFW-Bauelemente mit einer die Bauelementestrukturen (10 bis 12) auf einem Substrat (1) verschließenden Kappe (13 bis 16) in Form einer Abdeckung auf dem Substrat (1), welche in den Bereichen der Bauelementestrukturen (10 bis 12) diese aufnehmende Ausnehmungen besitzt.</p> |