| 摘要 |
<p>Unités de traitement (40, 400) destinées au traitement de tranches de circuits intégrés, de substrats de semi-conducteurs, de disques de données et d'unités similaires (50) requérant des niveaux de contamination très faible. Une partie d'interface (43, 401) reçoit des tranches dans des supports (51) de tranches standard. Une partie d'interface préférée transfère des tranches (50) depuis les supports jusque sur de nouveaux plateaux (60) destinés à assurer un traitement amélioré. Dans d'autres formes de réalisation les tranches sont traitées sans transfert. Un convoyeur (140) présentant un ensemble bras automatique (157) déplace les tranches entre des postes de traitement (71-3, 411-5). L'accès aux postes de traitement à lieu à partir d'un espace de travail fermé (46) contigu à la partie d'interface. Un autre sous-système de chargement (600) est illustré, lequel reçoit et décharge ou recharge des conteneurs hermétiques (602) renfermant des supports (51) de tranche.</p> |
