发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07297199(A) 申请公布日期 1995.11.10
申请号 JP19940088500 申请日期 1994.04.26
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 TAKAO YUKIHIRO
分类号 H01L21/3213;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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