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发明名称 METHOD OF FLATTENING INTERLAYER INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPH07297184(A) 申请公布日期 1995.11.10
申请号 JP19940104920 申请日期 1994.04.19
申请人 SONY CORP 发明人 BANSHO OSAMI
分类号 H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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