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发明名称 A high-vacuum substrate enclosure.
摘要
申请公布号 EP0529392(B1) 申请公布日期 1995.11.08
申请号 EP19920113618 申请日期 1992.08.10
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 WIEMANN, DAVID A.;KANE, ROBERT C.;JASKIE, JAMES E.;SUMMERS, JOHN
分类号 H01J9/26;H01J19/54;H01J29/86;H01L23/02;(IPC1-7):H01J9/26 主分类号 H01J9/26
代理机构 代理人
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