METHOD FOR CHEMICAL SURFACE PASSIVATION FOR IN-SITU BULK LIFETIME MEASUREMENT OF SILICON SEMICONDUCTOR MATERIAL.
摘要
申请公布号
EP0680662(A1)
申请公布日期
1995.11.08
申请号
EP19940902993
申请日期
1993.12.16
申请人
SEMILAB FELVEZETO FIZIKAI LABORATORIUM RESZVENYTARSEMILAB FELVEZETO FIZIKAI LABORATORIUM RESZVENYTARSASAG SASAG;SEMILAB FELVEZETO FIZIKAI LABORATORIUM RESZVENYTARSASAG
