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发明名称 VACUUM PRESSURE CONTROL SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH07293439(A) 申请公布日期 1995.11.07
申请号 JP19940112109 申请日期 1994.04.26
申请人 CKD CORP 发明人 KOKETSU MASAYUKI;WATANABE MASAYUKI;TAKEHARA HIROSHI
分类号 F04B37/16;(IPC1-7):F04B37/16 主分类号 F04B37/16
代理机构 代理人
主权项
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