发明名称 QUARTZ GLASS MEMBER AND METHOD FOR EVALUATING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH07291644(A) 申请公布日期 1995.11.07
申请号 JP19940082901 申请日期 1994.04.21
申请人 NIKON CORP 发明人 KOMINE NORIO;HIRAIWA HIROYUKI
分类号 G01N21/01;C03B20/00;C03C3/06;G01M11/00;G02B1/02;H01S3/17;(IPC1-7):C03B20/00 主分类号 G01N21/01
代理机构 代理人
主权项
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