| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07291777(A) |
申请公布日期 |
1995.11.07 |
| 申请号 |
JP19940083391 |
申请日期 |
1994.04.21 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KINUGAWA YOSHIYUKI;YAMASHITA YOJI |
| 分类号 |
C30B11/00;C30B29/42;C30B29/66;C30B35/00;(IPC1-7):C30B11/00 |
主分类号 |
C30B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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