| 发明名称 |
Matériau pour cible de pulvérisation cathodique. |
| 摘要 |
<P>L'invention concerne un matériau pour cible de pulvérisation cathodique. Il s'agit d'ITO fritté densifié. <BR/> La porosité inférieure à 2 % est obtenue par adjonction d'oxyde de titane. <BR/> Application à l'obtention de couches minces conductrices par pulvérisation cathodique.</P>
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| 申请公布号 |
FR2719318(A1) |
申请公布日期 |
1995.11.03 |
| 申请号 |
FR19940005176 |
申请日期 |
1994.04.28 |
| 申请人 |
SAINT GOBAIN VITRAGE |
发明人 |
NADAUD NICOLAS;BOCH PHILIPPE;NANNOT MONIQUE |
| 分类号 |
C04B35/457;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/08;B22F3/115;C04B35/453;C04B35/64 |
主分类号 |
C04B35/457 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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