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发明名称 Mikrosystem mit integrierter Schaltung und mikromechanischem Bauteil und Herstellverfahren
摘要
申请公布号 DE4414968(A1) 申请公布日期 1995.11.02
申请号 DE19944414968 申请日期 1994.04.28
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 ZETTLER, THOMAS, DIPL.-PHYS. DR.RER.NAT., 81737 MUENCHEN, DE
分类号 G12B3/00;B81B3/00;B81C1/00;G01L1/14;G01P15/08;H01H1/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/70;H01L21/8234;H01L27/06;H01L29/84;H01L49/00;H02N1/00;H03H9/24;(IPC1-7):H01L49/00;H01L21/784;G12B1/00;H02N2/00;H01L41/08;B06B1/06 主分类号 G12B3/00
代理机构 代理人
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