| 摘要 |
<p>L'invention concerne unn nouveau système laser excimère à cartouche, ainsi qu'un procédé de génération d'un faisceau laser excimère au moyen dudit système. Celui-ci utilise une cartouche (10) contenant un mélange halogène-gaz noble (19), des électrodes (50, 60) possédant des branchements électriques extérieurs (30, 40) et un ensemble (20) servant à émettre une sortie de faisceau laser (400), ainsi qu'un orifice de gaz extérieur (90). La cartouche (10) s'adapte sur un réceptacle (100) situé à l'intérieur d'un compartiment de réception (200) de la base laser (300) du nouveau système. La cartouche (10) peut être remplacée facilement par le technicien du système et refournie par le fabricant quand le mélange de gaz (19) qu'elle contient est épuisé.</p> |
