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发明名称 Inspection interferometer with scanning feature
摘要
申请公布号 GB9517913(D0) 申请公布日期 1995.11.01
申请号 GB19950017913 申请日期 1994.12.23
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人
分类号 G01B9/02;G01B11/24;G01B11/30 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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