发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07288284(A) 申请公布日期 1995.10.31
申请号 JP19940078420 申请日期 1994.04.18
申请人 HITACHI DENSHI LTD 发明人 AKAHORI HIDEO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8228;H01L27/082;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/822 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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