| 发明名称 |
SKIN QUALITY EVALUATION METHOD FOR METALLIC THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07286983(A) |
申请公布日期 |
1995.10.31 |
| 申请号 |
JP19940104718 |
申请日期 |
1994.04.19 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
KOIZUMI HIROSHI;HIRAOKA KAZUNORI |
| 分类号 |
G01R27/02;G01N27/04;G01R31/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01N27/04 |
主分类号 |
G01R27/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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