| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR ANALYZING IMPURITY GAS IN FLUORINE GAS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07287001(A) |
申请公布日期 |
1995.10.31 |
| 申请号 |
JP19940078670 |
申请日期 |
1994.04.18 |
| 申请人 |
KANTO DENKA KOGYO CO LTD |
发明人 |
YAMAGUCHI YASUSHIGE;IIDA TAKASHI;TOMIOKA HIROSHI;MUTO TADAHIKO |
| 分类号 |
G01N1/00;G01N30/14;G01N30/88;(IPC1-7):G01N30/14 |
主分类号 |
G01N1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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