| 发明名称 |
XENON RADIATION DEVICE AND OBJECT SURFACE QUALITY IMPROVING DEVICE USING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07288109(A) |
申请公布日期 |
1995.10.31 |
| 申请号 |
JP19940101608 |
申请日期 |
1994.04.15 |
| 申请人 |
USHIO INC |
发明人 |
IGARASHI RYUSHI;MATSUNO HIROMITSU;HIRAMOTO TATSUMI;HISHINUMA NOBUYOSHI |
| 分类号 |
H01J65/04;H01J65/00;(IPC1-7):H01J65/04 |
主分类号 |
H01J65/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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