发明名称 COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07286270(A) 申请公布日期 1995.10.31
申请号 JP19950094027 申请日期 1995.04.19
申请人 LEYBOLD AG 发明人 PEETAA MAARAA;MIHIYAERU SHIEERAA;BUORUFUGANGU SHIYUTANGU;ROORANTO GETSUSHIE
分类号 C23C14/34;C23C14/40;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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