发明名称 WAFER CLEAVING JIG AND CLEAVING METHOD FOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH07288241(A) 申请公布日期 1995.10.31
申请号 JP19940080126 申请日期 1994.04.19
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 ISONO KAORU
分类号 H01L21/301;(IPC1-7):H01L21/301 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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