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发明名称 ION BEAM TESTER, IC TESTING DEVICE USING IT, AND METHOD FOR SPECIFYING FAILED PART OF IC USING IC TESTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07287055(A) 申请公布日期 1995.10.31
申请号 JP19940101938 申请日期 1994.04.15
申请人 ADVANTEST CORP 发明人 GOSEKI AKIRA;KURIHARA MASAYUKI;UEDA KOJI
分类号 G01R31/302;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/302 主分类号 G01R31/302
代理机构 代理人
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