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发明名称 THIN FILM VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07286274(A) 申请公布日期 1995.10.31
申请号 JP19940101693 申请日期 1994.04.18
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 KUBOTA KIYOSHI
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/46;C23F4/00;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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