发明名称 ELECTRODE DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07283220(A) 申请公布日期 1995.10.27
申请号 JP19940077396 申请日期 1994.04.15
申请人 NIPPONDENSO CO LTD 发明人 WATANABE YUSUKE;TANAKA HIROSHI;INO KOJI;KONDO ICHIJI;TERA RIYOUNOSUKE;NIIMI AKIHIRO
分类号 H01L21/60;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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