| 发明名称 |
METHOD OF SURFACE TREATMENT OF SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07283196(A) |
申请公布日期 |
1995.10.27 |
| 申请号 |
JP19950005330 |
申请日期 |
1995.01.17 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP;MITSUBISHI MATERIALS SHILICON CORP |
发明人 |
TSUCHIDA KAZUNARI |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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