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经营范围
发明名称
REACTION TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH07283144(A)
申请公布日期
1995.10.27
申请号
JP19940069832
申请日期
1994.04.08
申请人
FUJITSU LTD
发明人
YAMAUCHI TOSHIJI;KUDO MASATAKA
分类号
C23F4/00;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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